池田屋ULVAC爱发科溅射离子泵控制器池田屋ULVAC爱发科溅射离子泵控制器

详细介绍

池田屋ULVAC爱发科溅射离子泵控制器
池田屋ULVAC爱发科溅射离子泵控制器

潛射電子泵

PST系列用控制器

GST-07L-B

爱发科

GST-07L-B是一款溅射离子泵控制器，功能完善，可靠性高。它是ULVAC丰富的技术储备和在超高真空领域长期考验的长期积累的产物。

小型·轻量
搭载CPU实现多功能化。
单个装置可以控制所有离子溅射泵（PST系列）。
通讯设备标准配件
外部通信控制功能是标准配置，因此可以进行远程控制和自动操作。
XHV対応
自动启动电路和软件启动功能可*大限度地减少泵电池的损耗（→**1340297和其他申请待定）
**限制功能
提高操作开关的防错功能和各种保护的互锁功能。采用高氟橡胶树脂高压电缆，具有优异的耐热性、耐寒性和电气特性。
指定使用的有害物质（RoHS指令）。
符合CE标志

可连接泵		Actor 泵（PST 系列所有型号）
工作压力		10 ^-2 至 10 ^-4 Pa 或更低
显示范围	显示方式	数字显示（7段LED）
	显示内容
	a）输出电流显示	自动选择2个量程：mA、μA（线性显示）
	b）输出电压显示	0.0 至 7.5 kV (H 或 L)（1 量程线性显示）
	c）压力显示	Pa、mbr (1×10 ^-8～1×10 ^-2 Pa) (1×10 ^-10～ 1×10 ^-4 mbar)
输出释放电压		DC+7.5kV （2 点，高和低，可使用前面板开关选择；高/低压设置可使用微调器在约 1.0 至 7.5kV 范围内调节）
输出电流		小于DC31mA
输入电压/电流		AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A
MONITOR端子输出信号		信号输出与7段面板显示成比例，每个范围DC 0至10V满量程，超过100kΩ
压力设定点		2 分
远程/本地		可通过面板开关选择
外部控制功能		配备各种输入/输出功能（配备 REMOTE 连接器）（远程、RS-232C 通信控制）
保护功能		错误显示/提供各种保护功能高压（HV）输出关闭 ERR 0 至 5 亮启动保护定时器设置（1 至 255 分钟可调）断电后自动保留（HV 保持开关操作）
环境工作条件	温度	0～40℃
	湿度	小于85%（无结露）
配件		输出电缆（5m）、输入电缆（3m）
重量		主机：约4kg，电缆：约1.0kg（标准）
尺寸（宽 x 高 x 深）		240 x 99 x 370 毫米 {200 x 99 x 370 毫米（不包括机架安装支架）}