池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵 UTM300A-MS 池田屋实业（深圳）有限公司

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池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵

池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵

产品型号： UTM300A-MS

产品简介：

池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵

详细介绍

池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵
池田屋ULVAC爱发科涡轮分子泵

涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。

特点

泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
排气速度300L/s～4000L/s的型号阵容。
分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
高耐用性和**性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种**性确认试验。

规格

表 1

模型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
进气口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
出水口			KF25				KF40
冷却方式			水冷	空气冷却	水冷	空气冷却	水冷	空气冷却	水冷	空气冷却
极限压力*1		帕	10 ^-7				10 ^-8
抽气速度*2	氮气	升/秒	320		420		800		1080
	应收账	升/秒	ー
	他	升/秒	340		360		800		930
	氢气	升/秒	320		340		700		790
压缩率	氮气		1×10 ⁹
	他		8× ¹⁰⁴
	氢气		1× ¹⁰⁴				4×10 ³
大入口压力3		帕	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
大出口压力3		帕	400	40	400	40	665	40	665	40
转速		转速	45000				35000
启动时间			5分钟或更短
安装位置			朝任意方向
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー
	压力	压力	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー
噪音		分贝(声级)	60
重量		公斤	14				33		三十二
推荐前级泵			200L/略多				500L/略多
控制器	作品		分离型
	输入电功率		单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	*大功率		0.55				1.0
	速度变化		转速在额定转速的25%~100%之间可调（设定为0.1%）
	沟通		接触
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位数。
*2：无防护网。
*3：*大入口压力和*大出口压力不能同时满足。

用途

各种设备的主真空排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 研究开发设备
- 分析设备、实验装置等
主真空泵系统，用于不产生副反应生成物的轻工艺产线的真空系统。
其他的高真空排气系统。