炎热电离真空计
通用型
AxTRAN 系列
爱发科
AxTRAN是在离子源和离子收集器之间配置了Bessel-Box型能量过滤器的热阴极电离真空计。 由于降低了软X射线,ESD离子等的剩余电流,实现了0.5×10 -10 Pa的测定分辨率。