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型号
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SH200-A
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SH200-R
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HT200-E
（即将上市）
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规格
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标准规格
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串口通信规格
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EtherCAT规格
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适应多离子传感器
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M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
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可以连接的传感器
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多离子传感器：1本
皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）
大其他传感器SAU：1本（可选）
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测量精度（N2）
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SH200本体模式：±2％
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取样时间
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60ms 5次移动平均处理
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测量值输出
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出力电压 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
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更新时间
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60毫秒
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控制输入信号
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FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
* FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异
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控制输出信号
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传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格：24V MAX、50mA MAX、饱和电圧1V
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串行通信规格
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RS232C/RS-485
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EtherCAT
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LED显示
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POWER/ERROR： 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
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发射电流
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1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
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脱气
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电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
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测量部耐圧性
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2×10+5Pa （**压力）
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
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传感器内部容量
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17厘米3（M-44），19厘米3（M-45），17厘米3（M-46）
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使用温度范围
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10～50℃
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使用湿度范围
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15～80%(不结露)
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保管温度
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-20～65℃(非通电时、不结露)
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IP保护等级
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IP30
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电源电压
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DC20～28V (波纹，噪音1%以下)
8W以下
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输入/输出连接器
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D-sub15销（M2.6螺丝）
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重量
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调节器：约280g 测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
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外形尺寸 W×D×H
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69mm×63mm×90mm (控制器部分)
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适合规格
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这
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选项
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多离子传感器
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M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材质：灯丝1,2 -Ir/Y2O3壳
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niﾒｯｷ
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皮拉尼真空计传感器
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SWU10-R ※也支持传统的SPU产品。
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皮拉尼真空计
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SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材质：灯丝－Pt, 其他－BS/Ni, 电镀, Ni, 焊接
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大气压传感器
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SAU(NW16) 材质：SUS316L
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单位电缆
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GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
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显示单元
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1CH：ISG1 (DC24V电源使用)
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显示单元电缆
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SH200～显示单元电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
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连接器
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入出力连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
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其他
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检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书
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