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新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器

新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器

产品型号：SP1

产品简介：

新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器

详细介绍

新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器
新型ULVAC爱发科皮拉尼真空计传感器

皮拉尼真空计

传感器类型

SP1

SP1

爱发科

传感器单元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。

特点

传感器规格：如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
确定子更换眼睛
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非输出）
电源电压：24 VDC输入

目的

用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

规格

类型	传感器单元
模型	SP1
兼容传感器头	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
准确性	±15 %（51帕～760帕）
	±30 %（10帕～1000帕）
	±50 %（0.4帕～3000帕）
工作温度范围	10～40℃
测量值输出	非线性输出：0至5VDC（*大10V）
设定点 1/2 压力设定调整监视器	非线性输出：0至5VDC（*大10V）
控制输出信号	开路集电极输出，负逻辑
	错误信号
	设定点 1/2
LED 显示屏	电源、错误、设定点 1、设定点 2
电源电压	DC24V±2V, 90mA（*大）
输入/输出连接器	D-sub-15P（M2.6螺丝）
重量	190g /0.41lb（不包括传感器头）
标准配件	输入/输出连接器 1个
标准配件	快速手册 1本

IO和模拟GND与电源GND不隔离。