ULVAC爱发科皮拉尼SW1-1真空计传感器型 ULVAC爱发科皮拉尼SW1-1真空计传感器型

详细介绍

ULVAC爱发科皮拉尼SW1-1真空计传感器型
ULVAC爱发科皮拉尼SW1-1真空计传感器型

皮拉尼真空计

传感器类型

SW1

SW1-1(日本产) / SW1-N1(中国产)

爱发科

皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围，
该真空计来自传统的控制器（传感器单元）中，提高操作·显示部分，*大程度地凝缩专业功能，使“降速”成本”和“省空间”成为可能。

特点

测量范围：可以进行从大气压到5×10-2 Pa
抗冲击性提高：具有高抗冲击性的结构设计（正在申请**）
优异的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度均在±20％以内（日本**第4878289号）
灯丝材料·铂（Pt）：由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高：配备可确认异常的LED
一触式调整：一键式即可进**压调整和零点调整
维护：更换决定子更轻松
适用测定子扩展：除NW16 / 25规格外，焊接Φ15/ 18规格，拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品配置中

目的

太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动·冲击的各种真空排气系统

规格

模型	SW1-1	SW1-2
可连接传感器头	1个
兼容传感器头	SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（φ18）、SWP-P15（φ15）、SWP-CF16（ICF034）、SWP-1S（ASME BPE卫生级1"）
可测压力范围	5.0×10 ^-2 ~ 1.0×10 ⁺⁵ Pa（Pa（表示范囲：1.0×10 ^-2 ~ 1.2×10 ⁺⁵ Pa）
准确性*	1×10 ^-1 Pa ~ 1×10 ⁺⁴ Pa ： ±10%
	5.0×10 ^-2 ~ 1.0×10 ^-1 Pa、1×10 ⁺⁴ Pa ~ 1×10 ⁺⁵ Pa：±20%
重复性	1×10 ^-1 Pa ~ 1×10 ⁺⁴ Pa : ±2%
采样时间	50ms 5回の移动平均处理
值输出	输出电压DC0至10V
	压力指示（对数）1.7V 至 8.0V 1V/十倍
	（更新时间）50ms
控制输入信号	开路集电极输入，负逻辑	-
	ADJ调整（零点、大气调整）	-
控制输出信号	开路集电极输出，负逻辑 [额定值：30VMAX、50mAMAX、70mW]	-
	错误信号	-
	设定点 1、2	-
监控设定点	设定点1、2：0至10V日志输出	-
串行通讯类型	-	RS232C/RS485
LED 显示屏	电源/错误：电源错误 LED
	SET-1：设定点1LED	-
	SET-2：设定点2LED	-
灯丝材质	铂
工作温度范围	10～40℃
工作湿度范围	15～80% (无凝露)
IP 等级	IP30（传感器单元）
固定位置	自由的
电源电压	DC18V ~ 30V，2W（含电源输入4.8W）
输入/输出连接器	D-sub 15 针（M2.6mm 螺丝）- 侧面传感器单元
重量	150克（含SWP-16）
尺寸（电源）宽×深×高	70毫米×46毫米×28毫米
标准配件	快速手册
选项	输入/输出连接器（D-sub 15 插座（M2.6mm 螺丝））、检查结果数据表、一般校准测试报告、JCSS 校准证书
适用标准	CE