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ORC欧阿希 紫外线照射装置设备
产品型号: HMW-615N-4
产品简介:

ORC欧阿希 紫外线照射装置设备 ORC欧阿希 紫外线照射装置设备

详细介绍

 ORC欧阿希 紫外线照射装置设备 
 ORC欧阿希 紫外线照射装置设备 


这是在半导体制造工序、液晶基板制造工序等微细图案形成工序中,对残留在基板表面的有机物照射UV,以非接触方式去除有机污染物的装置。可以在不损坏基材的情况下清洁和修饰表面。

标题01
  • 配备独特的低压紫外灯,对基材损伤小,分解有机物能力强。
  • 通过采用摆动基板的方式,将UV光量均匀地照射到基板上。
  • 主板不会发热太多。
  • 可以应用消除臭氧的照射方法和**氮气的照射方法。
 
产品规格

规格

模型 HMW-615N-4
使用的灯 低压UV灯
VUV-100/A-5.3U・7灯
照射距离 25毫米
照射面积 400宽×400深
照射时间 任意(*长 99 分 59 秒)
废气臭氧去除 使用过滤器分解臭氧
外形尺寸 700(宽)×800(深)×1447(高)



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