光源 有效曝光尺寸 基材宽度 解决 吞吐量 总体叠加精度 RDi-10 双核 半导体激光器 635x520毫米 250mm 宽 x 2 个水槽（500mm 宽 x 1 个水槽也可以） 10μm长/秒 38秒/平面@30mJ MD:500mm 6μm RDi-MP 半导体激光器 515x260毫米 250mm（*其他要求可协商） 4μm长/秒 45秒/平面@55mJ MD：515mm 3.5μm RDi-MP 二重奏 半导体激光器 515x590毫米 250mm宽x 2个主水槽（*其他要求可协商） 4μm长/秒 44秒/平面@50mJ MD:500mm 3.5μm RDiｰ80 紫外线灯 635x520毫米 250/500毫米 30μm L/S / Φ80μm 58秒/平面@150mJ 69秒/平面@200mJ MD:610mm 7μm