模型	PPS-8200p1/8300p1
晶圆尺寸	6/8/12英寸
解决	2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蚀剂厚度）
NA（数值孔径）	0.16、0.1 变量
减速比	1:1
场地大小	52毫米×33毫米
曝光波长	ghi-Line gh-line i-line（食谱链接）
标线尺寸	6寸
叠加精度	≤0.5 µm(|平均|+3σ)
设备尺寸/重量	(宽)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg
主要选项	背面对准系统 晶圆周边曝光系统 晶圆周边非曝光系统 薄晶圆输送系统 兼容GEM通信 内联兼容