原厂Osaka Vacuum大阪真空紧凑性干式真空泵ER100DC
在同类干式真空泵中实现了**的能效、紧凑性和轻量化。 极限压力下的功耗：400W 安装面积：0.11m 2 重量：60kg ■可根据应用提供产品规格。 ER100D：轻负载和清洁工艺排气的理想选择 ER100DC：采用高耐腐蚀性材料制成，适合排放腐蚀性气体
目的
・洁净排气 ・溅射装置粗排气 ・TMP等高真空泵辅助泵 ・负载锁定室、传送室排气 ・小型实验装置排气 ・吸附传送系统 ・分析/测量装置排气 ・小型反应堆排气 ・电子枪源、离子枪源排气
[兼容气体类型] 根据吸入气体类型，内部部件可能会劣化。 请联系我们的销售部门了解兼容的气体类型。