新品Osaka Vacuum大阪真空通用分子泵 TG443
目的
*1: 1Pa·L/s (25℃) = 0.543sccm (0℃, 1 atm) *2: 排气口辅助排气速度为160L/min时的值。 *3：烘烤48小时后获得的值。