原装Osaka Vacuum大阪真空耐腐蚀分子泵TG5003
TG5500/5503
■产品阵容包括标准型和耐腐蚀性气体排放的化学型。
■世界*大复合分子泵
■抵抗意外大气进入的结构
■ 抗外部冲击能力强
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*对于清洁工艺，请选择TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。