全新Osaka Vacuum大阪真空串行通信分子泵 TG3413
产品阵容包括标准型和耐腐蚀性气体排放的化学型。
■抵抗意外大气进入的结构
■ 抗外部冲击能力强
■可进行串行通信
■**标准
NRTL/SEMI-S2
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*对于清洁工艺，请选择TG-F系列、TG-M系列或TGkine系列。