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主营产品:
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Osaka Vacuum大阪真空
池田屋Osaka Vacuum大阪真空省电设计分子泵TGkine2200M-R
产品型号:TGkine3300M-R
产品简介:
池田屋Osaka Vacuum大阪真空省电设计分子泵TGkine2200M-R 池田屋Osaka Vacuum大阪真空省电设计分子泵TGkine2200M-R
详细介绍
池田屋Osaka Vacuum大阪真空省电设计分子泵TGkine2200M-R
池田屋Osaka Vacuum大阪真空省电设计分子泵TGkine2200M-R
省电设计
设置参数、运行数据、错误历史记录等可存储在泵体内。
*即使在检修期间更换控制器,也可以传输数据。
兼容EtherCAT各种通讯规格
符合国际标准CE/NRTL/SEMI-S2
目的
半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学零件加工
胶片加工
加速器/空间环境测试设备
规格
外形尺寸
性能曲线
控制器
涡轮控制器型号
TC0321M
输入电压
(苹果醋)
200~240
-15~+10%
相数
单相
输出频率
(赫兹)
50/60
所需*大功率
(千伏安)
0.9
大量的
(公斤)
8
串行通讯标准
RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
标准配件
・输入电缆(5m):1根
・使用说明书(主机、串行通信):各 1 份