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Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI
产品型号:TG 2400MI
产品简介:
Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI
详细介绍
Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI
Osaka Vacuum大阪真空通用复合分子泵 TG-2400MI
TG-MI系列反应产物涡轮分子泵的特点
该系列针对反应产物容易积聚的设备,采用了我们独特的隔热结构/自加热机制,显着降低了反应产物积聚率。
加热整个周围区域(包括反应产物对策
目标区域)的传统方法
- 热量分散。
・无法有效利用。
・目标区域外的热效应
TG-MI系列采取的措施
除了利用外部加热器升温外,
还可以有效利用泵内部与吸入气体产生的摩擦热,有效提高与气体接触部分的温度,抑制提高了外部加热器的节能效果! !
- *大限度地减少对主要部件的热影响并减少对泵的损坏。
・排气管也使用隔热材料。保持*佳温度并防止排气管道中生成产物。
目的
半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
容易产生反应产物的工艺设备
规格
外形尺寸
性能曲线
控制器