日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵  TG-390MI

日本Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵  TG-390MI

TG-MI系列反应产物涡轮分子泵的特点

该系列针对反应产物容易积聚的设备，采用了我们独特的隔热结构/自加热机制，显着降低了反应产物积聚率。

• 加热整个周围区域（包括反应产物对策
  目标区域）的传统方法
  - 热量分散。
  ・无法有效利用。
  ・目标区域外的热效应

• TG-MI系列采取的措施
  除了利用外部加热器升温外，
  还可以有效利用泵内部与吸入气体产生的摩擦热，有效提高与气体接触部分的温度，抑制提高了外部加热器的节能效果！ ！
  - *大限度地减少对主要部件的热影响并减少对泵的损坏。
  ・排气管也使用隔热材料。保持*佳温度并防止排气管道中生成产物。