全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M TG1300M 池田屋实业（深圳）有限公司

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全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M

产品型号：TG1300M

产品简介：

全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M 全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M

详细介绍

全新Osaka Vacuum大阪真空节能分子泵TG900M

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・各种电子零件的制造

・分析测试设备

・管材制造、光学零件制造

・加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

进气法兰		VG150 CF160 ISO-B160
抽速	氮气（升/秒）	900
	N 2 (带保护丝网) (L/s)	860
	H2 （升/秒）	1050
*大压缩比	N2	1× 108
*大压缩比	H2	1.5×10 4
极限压力	VG・ISO-B/CF (Pa)	<1×10 -6 / <1×10 -7
极限压力	VG・ISO-B/CF (托)	<7.5×10 -9 / <7.5×10 -10
大气体流量1	氮气( sccm )	3000
启动时间	（分钟）	4~5
停止时间	（分钟）	4~5
允许辅助压力	（帕/托）	500/3.8
推荐辅助泵	(升/分钟)	≧250
安装位置		自由地
质量 (kg) VG・ISO-B/CF		34/42
控制器型号		TC010MA
特殊规格（详情请联系我们的销售代表。）		-化学型 -对应反应产物TG-MI -超低振动规格TG-ML - 超高真空型规格TG-MU -耐辐射规格TG-MR