原厂Osaka Vacuum大阪真空尺寸紧凑分子泵TG2400F
自由安装位置
■尺寸紧凑
■节能
■快速启动
■耐大气侵入的结构
■可进行串行通信
■符合**标准NRTL/SEMI-S2/CE
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・分析测试设备
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*排出腐蚀性气体等时，请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。