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日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F
产品型号:TG1400F
产品简介:

日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F 日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F

详细介绍

日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F

日本Osaka Vacuum大阪真空快速启动分子泵TG1100F


・半导体制造

电子枪排气、离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

各种电子零件的制造

分析测试设备

管材制造、光学零件制造

加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*排出腐蚀性气体等时,请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。


模型 TG1100F TG1100F*A*-60/TG1100F*W*
进气法兰  VG200/ISO-B200/CF200
抽速 氮气升/秒) 1100
2 (带保护丝网) (L/s) 1000
H2 升/秒) 720
*大压缩比  N2 1× 108
H2 1×10 4
极限压力  (帕/托) <1×10 -6 /<7.5×10 -9
*大气体流量*1 *2 (SCCM) 330 860
启动时间*2 (分钟)  7-9 5.5-7
停止时间*2 (分钟)  27-32 12-15日
允许辅助压力 (帕/托) 330/2.5
推荐辅助泵 (升/分钟) ≧250
安装位置 自由地
大量的 VG・ISO-B/CF(公斤)  28/27
控制器型号 TC1104 TC1103 *3
  • *1:辅助泵容量为500L/min时的*大允许流量
  • *2:根据电源型号而变化(标准:TC1104)
  • *3:风冷时需更换风冷风扇(TG1100F***-60)
  • [工作环境温度]
  • 保证极限压力的环境温度为10~23℃。另外,风冷时允许环境温度为10~32℃,水冷时允许环境温度为10~40℃。极限压力保证冷却水温度为30℃以下,允许冷却水温度为10~35℃。
  • [兼容气体类型]
  • 根据吸入气体的类型,可能会损坏轴承润滑油脂和内部零件。请联系我们了解兼容的气体类型。



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