全新Osaka Vacuum大阪真空节能减排分子泵TG450F TG800F 池田屋实业（深圳）有限公司

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全新Osaka Vacuum大阪真空节能减排分子泵TG450F

产品型号：TG800F

产品简介：

全新Osaka Vacuum大阪真空节能减排分子泵TG450F 全新Osaka Vacuum大阪真空节能减排分子泵TG450F

详细介绍

全新Osaka Vacuum大阪真空节能减排分子泵TG450F

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・各种电子零件的制造

・分析测试设备

・管材制造、光学零件制造

・加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*排出腐蚀性气体等时，请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。

规格
外形尺寸
性能曲线
控制器

模型		TG450F
进气法兰		VG150 ISO-B160 CF160
抽速	氮气（升/秒）	450
	N 2 (带保护丝网) (L/s)	第430章
	H2 （升/秒）	240
*大压缩比	N2	1× 108
*大压缩比	H2	2×10 3
极限压力	（帕/托）	<1×10-6 / <7.5× 10-9
大气体流量1	（SCCM）	500
启动时间	（分钟）	2-2.5
停止时间	（分钟）	5-6.5
允许辅助压力	（帕/托）	260/2
推荐辅助泵	(升/分钟)	≧80
安装位置		自由地
大量的	VG・ISO-R / CF(公斤)	7/10
控制器型号		TC353

*1：辅助泵容量为160L/min时，*大允许流量
[环境使用温度]
极限压力的保证环境温度为10～23℃。另外，风冷时允许环境温度为 10 至 32°C，水冷时允许环境温度为 10 至 40°C。极限压力保证冷却水温度为30℃以下，允许冷却水温度为10～35℃。
[兼容气体类型]
根据吸入气体类型，轴承润滑油脂和内部零件可能会劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。