全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・各种电子零件的制造
・分析测试设备
・管材制造、光学零件制造
・加速器、放射线设施、核聚变研究
·热处理
·研究与开发
*排出腐蚀性气体等时，请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。
*1：辅助泵容量为100L/min时的*大允许流量
[使用环境温度] 保证极限压力的环境温度为10～23℃。另外，风冷时允许环境温度为 10 至 32°C，水冷时允许环境温度为 10 至 40°C。极限压力保证冷却水温度为30℃以下，允许冷却水温度为10～35℃。 [兼容气体类型] 根据吸入气体类型，轴承润滑油脂和内部零件可能会劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。