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全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F
产品型号:TG60F
产品简介:

全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F 全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F

详细介绍

全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F

全新Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵TG50F


  • 自由安装位置
  • 尺寸紧凑
  • 节能减排
  • 快速启动
  • 可快速排气停止
  • 与大气入口兼容
  • 可串行通讯

目的

・半导体制造

电子枪排气、离子源排气

FPD制造

表面处理、表面改性

各种电子零件的制造

分析测试设备

管材制造、光学零件制造

加速器、放射线设施、核聚变研究

·热处理

·研究与开发

*排出腐蚀性气体等时,请选择与化学品兼容的TG-M或TG系列。


进气法兰  VG65
ISO-R63
CF63
抽速 氮气升/秒) 51
2 (带保护丝网) (L/s) 49
H2 升/秒) 12
*大压缩比  N2 1.4× 107
H2 5× 102
极限压力  VG・ISO-R/CF (Pa) <3× 10-6
VG・ISO-R/CF (托) <2.3×10 -8
*大气体流量*1 氮气( sccm ) 80
启动时间 (分钟)  1-1.5
停止时间 (分钟) 1-1.5
允许辅助压力 (帕/托) 1330 / 10
推荐辅助泵 (升/分钟) ≧50
安装位置 自由地
大量的  VG·ISO-R / CF(公斤) 4.2/6
控制器型号 TC64

 

*1:辅助泵容量为100L/min时的*大允许流量


[使用环境温度]
保证极限压力的环境温度为10~23℃。另外,风冷时允许环境温度为 10 至 32°C,水冷时允许环境温度为 10 至 40°C。极限压力保证冷却水温度为30℃以下,允许冷却水温度为10~35℃。
[兼容气体类型]
根据吸入气体类型,轴承润滑油脂和内部零件可能会劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。


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