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DONGBANG东方机械干式单螺距螺杆真空泵DBHP高真空系列型号一览

DONGBANG东方机械干式单螺距螺杆真空泵 DBHP高真空系列型号一览

        DBHP系列是DONGBANG东方机械面向高真空洁净工艺开发的干式单螺距螺杆真空泵产品线,采用无油干式设计,阴阳螺杆非接触同步旋转,可选 PTFE 特氟龙防腐涂层,适配含腐蚀性、可凝性蒸汽工况,全压力区间可连续长时间运行,全系列获得 CE 和 TUV 认证。该系列型号覆盖 DBHP120 至 DBHP70K,从实验室小型单机延伸至超大规模集中真空系统。

型号参数一览表

型号 抽速 (m³/h) 定位等级 典型用途
DBHP120 120 小型单机 实验室、小型镀膜设备前级泵
DBHP160 160 小型单机 小型半导体设备、分析仪器
DBHP600 600 中型单机 中型半导体设备、显示面板产线
DBHP1000 1,000 中大型 中型集中真空系统
DBHP1200 1,200 中大型 中型集中真空系统、多腔体产线
DBHP1800 1,800 大型 大型半导体产线集中真空
DBHP3600 3,600 大型 大型集中式中央真空系统
DBHP4800 4,800 大型 大型集中式中央真空系统
DBHP40K 40,000 超大型 超大规模半导体产线、集中真空系统
DBHP60K 60,000 超大型 超大规模集中真空系统
DBHP70K 70,000 超大型 超大规模集中真空系统旗舰机型

系列通用技术特征

参数项 规格
泵型 干式单螺距螺杆
驱动方式 非接触式螺杆同步旋转
工作介质 无油、无水
压力范围 全压力区间连续运行(高真空至低真空)
涂层(可选) 特殊特氟龙(PTFE)涂层
法兰标准 IEC 法兰,安装/移动无需对轴校中
冷却方式 水冷(转子内置冷却)
认证 CE、TUV
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