池田屋分享IKC入江工研焊接NS136‑1 波纹管工艺原理介绍
池田屋分享IKC入江工研NS136‑1焊接波纹管工艺原理介绍
NS136‑1 属于 IKC 入江工研 NS 系列标准碟片式焊接波纹管，采用超薄金属碟片内外径交替叠焊工艺制造，区别于液压一体成型波纹管，依靠精密焊接实现真空密封与弹性伸缩，后缀‑1 代表设计疲劳循环寿命 1 万次，材质选用 SUS316L 不锈钢，为无法兰裸波纹管结构，端部由用户自行焊接对接法兰组件。
结构工作原理
产品由多组环形超薄金属膜片堆叠装配而成，相邻两片碟片
内圈、外圈交替圆周密封焊接，膜片之间形成独立波纹单元。在轴向推拉、少量角向偏转作用下，碟片发生弹性形变，实现整体伸缩、位移补偿，全程依靠金属焊缝维持腔体气密隔离，无橡胶、塑料等有机密封材质，具备低释气特性，适配超高真空工况。
工作状态下，波纹管外部承受大气压，内部为真空环境；可吸收机构轴向运动、装配偏差、设备热形变，同时阻隔外部大气渗入真空腔体，也可以隔绝真空内部微粒向外逸散，多用于真空阀门动密封、直线导入机构、管路振动缓冲补偿。
核心制造工艺原理
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膜片精密冲压成型
将 SUS316L 薄板冲压加工成统一规格环形碟片，严格控制膜片厚度、平面度、内外径尺寸，膜片精度直接决定波纹管刚度、伸缩行程与疲劳寿命，每一片碟片都需要做外观与尺寸分选，剔除翘曲、毛刺缺陷件。
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洁净前处理工序
冲压完成的碟片进入洁净环境，经过超声波清洗、脱脂、烘干，去除表面油污、金属碎屑、氧化层。膜片表面洁净度直接影响焊接熔合质量，避免焊缝出现气孔、虚焊，是保障超高真空漏率的前置关键工序。
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交替圆周精密焊接（核心工序）
采用微束等离子 / 激光焊接，惰性气体全程保护。装配工装定位碟片，
先焊接一组膜片内圈圆周焊缝，再堆叠下一组膜片焊接外圈圆周焊缝，内外交替循环堆叠，组装成完整波纹管本体。焊接热影响区控制范围很小，*大限度保留不锈钢材料弹性性能，焊缝实现金属冶金熔合，保障气密性能。
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去应力热处理
焊接完成后进行真空去应力退火，消除焊接产生的残余内应力，抑制使用过程中的应力变形，稳定波纹管弹性刚度，提升循环疲劳性能。
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全项出厂检测
完成尺寸校验、弹性刚度测试；采用氦质谱检漏仪检测整体漏率，保证漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；抽样开展往复疲劳循环验证，确认达到设计寿命指标后交付，裸波纹管两端预留焊接坡口，供客户对接法兰焊接使用。
工况应用原理
NS136‑1 全金属焊接密封结构，*高烘烤温度 250℃，可耐受真空腔体高温除气；当机构做往复运动时，波纹管跟随伸缩，实现动密封，不存在摩擦副，不会产生摩擦粉尘，满足半导体真空设备、镀膜设备对洁净无释气的使用要求。