池田屋推出TOFCO东富科流量计介绍

        TOFCO东富科是日本的精密流体测量与控制品牌，其名称为“Total Flow Consultant”的缩写，意为“专业流量顾问”。
        TOFCO的流量计产品线覆盖了面积式、涡街式、叶轮式、超声波、质量流量、差压式、电磁式、科里奥利式等多种测量原理，几乎覆盖从微小流量到大流量、从洁净气体到强腐蚀药液的全部工况需求。
        TOFCO的核心技术路径清晰：以流量测量为起点，向流体控制延伸。品牌将“控制”视为“测量”的延伸技术，依托在测量端积累的传感与信号处理能力，逐步拓展流量控制器、比例控制阀等执行端产品，形成从测量到控制的闭环能力。

        在产品层面，TOFCO的流量计覆盖多种测量原理。面积式流量计（如FM-PZ、FM-PX20、DUO-PX系列）采用玻璃锥管浮子结构，通过浮子高度反映体积流量，结构简单、无需供电即可直观读数，适合洁净气体和液体的现场可视化监测。差压式流量计DPF系列则利用流体流经节流件产生的压力差，通过隔膜式压差检测结构来推算流量，口径覆盖15A至100A，专为中到大流量洁净液体设计，支持任意流向安装。质量流量控制器THP系列基于热式传感原理，直接测量和控制气体的质量流量，结果不受温度和压力波动影响，精度可达±0.5% of Reading，响应时间小于1秒，支持RS-485数字通讯。

        在半导体行业，TOFCO的应用尤为深入。其合作方包括东京电子、迪思科、SCREEN等设备巨头，产品覆盖清洗、刻蚀、CMP等核心制程。针对CMP工艺中浆料输送和液体配比的严苛需求，TOFCO近年推出了FLC-UP40与FLC-UC30两款流量控制器新品，在响应速度和控制精度上做了针对性优化。此外，其半导体冷却水路集成系统结合了耐-100至200℃的流量计与耐-60℃的比例阀，可满足水系统闭环PID控制的要求。