什么是干式螺杆真空泵？

干式螺杆真空泵是一种容积式真空泵，其核心特征在于：泵腔内不使用油或水作为工作介质，而是依靠一对相互啮合、非接触同步反向旋转的螺杆转子，将气体从吸气端捕获、沿轴向输送并压缩，从排气端排出。“干式”二字特指抽气腔室无油，而齿轮箱和轴承仍需润滑油，二者通过轴封隔离。

一、工作原理：四步完成抽气

干式螺杆真空泵的工作过程可分为四个连续阶段：

吸气：转子旋转时，齿间容积逐渐增大，泵腔内部形成低压区，气体从吸气口被吸入并封闭在齿间。

输送：一对螺杆转子在同步齿轮驱动下反向旋转，转子与转子、转子与壳体之间保持微小间隙、互不接触，气体被密封在齿间容积内，沿轴向从吸气端向排气端移动。

压缩：根据螺距设计不同，压缩方式有所区别。变螺距螺杆的齿间容积沿轴向逐渐减小，气体在输送过程中被逐级压缩，排气温度低、能耗低；等螺距螺杆的齿间容积保持不变，气体主要在排气口处受背压作用形成压缩，输送过程平缓，对含固体颗粒或粉尘的工况耐受性更强。

排气：气体到达排气端后，从排气口排出，完成一个抽气循环。多个齿间容积连续工作，形成连续、无脉动的抽气流。

二、核心结构

干式螺杆真空泵的主要部件包括：

• 一对螺杆转子：核心运动部件，通常采用高强度合金钢，表面可涂覆特氟龙（PTFE）等防腐涂层。

• 泵壳：容纳转子并形成密封腔体，常集成冷却水夹套。

• 同步齿轮：确保两个转子同步反向旋转，不发生接触摩擦。

• 轴承与轴封：支撑转子并隔离齿轮箱润滑油，防止油进入泵腔。

• 冷却系统：包括壳体冷却和转子内部直接冷却，后者将冷却水通入转子本体内部，从热源处带走压缩热，有效抑制高温碳化和热膨胀。

• 电机与控制器：驱动泵体运行，部分型号配备微处理机控制器实现异常保护。

三、关键性能特点

干式无油，洁净真空。泵腔无油无水，从根本上消除油气返流风险，可输出真正洁净的真空环境，适用于半导体、制药、食品等对污染极度敏感的行业，同时无废水处理成本。

抽速范围宽，覆盖广。单泵抽速可从几十立方米/小时到数万立方米/小时，既能作为小型单机使用，也能组成超大型集中真空系统。

全压力区间连续运行。从大气压到极限真空均可连续工作，动力消耗不随真空度变化而显著波动，既可作为高真空主泵，也可作为涡轮分子泵、低温泵的前级泵。

非接触运行，寿命长。转子之间无金属接触，磨损极小，配合低转速设计，振动小、噪音低，维护周期长。

可处理可凝蒸汽与腐蚀性气体。通过气镇设计、加热夹套和特种防腐涂层，可应对含可凝蒸汽、微量腐蚀性气体的工艺工况。但需注意，粉尘和颗粒物对螺杆泵仍具挑战，等螺距机型耐受性相对更好。

四、与其它干式真空泵的对比