新品发布DIC迪爱生 化学品和溶剂脱气模块PF-F系列
新品发布DIC迪爱生 化学品和溶剂脱气模块PF-F系列
在半导体、显示及精细化工生产过程中，强酸强碱、光刻药液、有机溶剂内容易析出溶解气体，产生微气泡，造成涂布针孔、喷头堵塞、工艺反应异常，直接影响产品良率。日本原装DIC迪爱生SEPAREL PF‑F系列，专为腐蚀性的药液、有机溶剂工况打造，全套接液部件采用全氟树脂材质，依托自研致密皮层PTFE中空纤维膜技术，实现药液深度脱气与供气溶气双向处理，是严苛化学流体工况下的脱气解决方案。
PF‑F系列采用内灌流结构，药液从 PTFE 中空纤维膜丝内腔流过，膜外壳侧接通真空负压，液体内部溶解氧、二氧化碳穿过膜丝被抽出，实现ppb级别脱气效果；切换工况，壳侧通入氮气、二氧化碳等工艺气体，气体反向渗透溶入药液，完成功能药液制备。膜元件透气不透液，致密皮层可以降低水蒸气渗透，减少真空回路冷凝水问题，保障系统长期稳定运行；模组支持反向冲洗，可冲刷膜丝内壁沉积杂质，延缓膜污染，降低更换频次，节约运维成本。
全系列接液部位包含PTFE膜丝、PFA壳体、FFKM全氟密封件，无金属接触，金属离子析出低，耐受pH0‑14宽酸碱范围，兼容显影液、剥离液、蚀刻液、TMAH、IPA、NMP 等各类半导体药液与有机溶剂，规避普通聚烯烃材质模组被溶剂溶胀腐蚀失效的问题。产品线型号丰富，覆盖小流量至大流量，主流型号PF‑03F、PF‑10F、PF‑28F，另有‑T低压损改良版本，优化内部流道，适配低压隔膜泵系统，进一步降低管路背压；圆柱紧凑结构，立式、卧式均可安装，便于设备机柜内嵌OEM集成，出厂完成气密性与性能检测，批次一致性稳定。
半导体行业可用于光刻胶、稀释剂、显影液、剥离液、蚀刻药液在线脱气除泡，适配单片清洗、槽式药液循环回路，减少晶圆涂布针孔、斑点缺陷；显示面板行业应用于彩色滤光片药液脱气；精细化工与溶剂喷墨场景，处理溶剂型墨水、各类腐蚀性循环药剂脱泡；也可用于分析仪器腐蚀性流动相预处理。既可用于新设备配套集成，也可对现有产线管路进行改造升级，改善工艺稳定性，降低参差损耗。