池田屋推出IKC入江工研 真空柔性波纹管
产品分为标准 VF 系列与加厚强化 VFP 系列,波纹管本体采用 SUS304 不锈钢材质,法兰同步采用不锈钢,氦检漏漏率可达1×10⁻⁷Pa・m³/s 以下,保障真空系统密封可靠性,杜绝微泄漏风险。软管支持烘烤工况,烘烤温度可高达 250℃,可适配腔体高温除气工艺,抗腐蚀、出气量低,满足严苛真空环境使用需求。
法兰接口覆盖多类主流真空标准:VF1000/VFP1000 为 KF‑NW 快拆法兰;VF2000/VFP2000 适配 CF 刀口超高真空法兰;同时提供 JIS 法兰、光管焊接定制版本,规格覆盖 KF10‑KF50 等常用口径。标准供货长度包含 500mm、1000mm、1500mm、2000mm,也支持非标长度定制,适配不同设备安装空间。VFP 强化型号增加管壁厚度,抗疲劳性能提升,耐受反复弯折,适合设备长期连续运行工况,降低管路疲劳破损概率。
该柔性软管主要用于真空泵与真空腔体之间柔性连接,吸收泵体运行振动,阻断振动传导至腔体,规避振动对薄膜工艺、检测精度带来干扰;同时补偿设备运行产生的热胀冷缩,化解装配带来的安装错位,降低管路装配应力,延长整套真空管路使用寿命。
产品大量应用于 PVD 溅射、CVD 薄膜设备、氦检设备、分子泵机组、科研真空腔体、半导体及光伏镀膜设备。区别普国产软管,IKC 一体模压波纹成型工艺,波纹均匀稳定,无焊接拼接缺陷,品质一致性高,在国内真空设备原厂、设备维保、产线改造项目拥有大量落地案例入江工研。
普通静态弯曲选用 VF 标准款;设备振动偏大、需要频繁拆装优先选用 VFP 加厚款;高真空选 KF 接口,超高真空烘烤工况选用 CF 刀口法兰版本,可按需提供原厂检测报告,适配设备验收需求。