池田屋推出ULVAC 爱发科真空角阀赋能真空工艺稳定运行
ULVAC 爱发科真空角阀赋能真空工艺稳定运行
作为真空行业专业设备厂商，ULVAC 爱发科依托多年真空技术积累，推出 VLP/VLB/VLH 系列 L 型真空角阀，覆盖大气压至高真空、超高真空宽区间工况，凭借可靠密封性能、多样驱动形式与法兰规格，为半导体、真空镀膜、科研实验、新材料制备等行业提供管路通断、腔体隔离的核心解决方案。
动 VLB 系列、手动 VLH 三大产品系列，细分 VLP‑SA、VLP‑SB、VLP‑MB 等子型号，阀体主流采用 SUS304 不锈钢材质，本体支持高达150℃高温烘烤除气，适配真空腔体高温预处理需求。VLP‑SA 采用 O 型圈轴封结构，适用于标准高真空工况；VLP‑SB 搭载波纹管密封，杜绝轴杆处气体渗漏，适合洁净工艺环境；VLP‑MB 为超高真空专用机型，实现更低泄漏指标，满足严苛工艺要求。法兰接口支持 JIS‑VF、ISO‑KF、ISO‑K、ISO‑CF 四种标准，口径覆盖 DN16 至 DN900，单动机型仅需一路气源即可完成驱动，可加装阀位反馈传感器，实现设备联锁信号交互，便于接入自动化真空系统。
产品外部泄漏率可达≤1.0×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，阀板耐受 0.1MPa 正反向压差，流道导通能力优异，降低管路气流阻力，保障抽气效率；阀内表面经过抛光处理，减少颗粒物析出，适配洁净制程，开关动作平稳，有效延长整机使用寿命。模块化结构设计，密封圈、波纹管等易损部件便于更换，降低后期维护成本，兼顾产线连续运行与实验室间歇使用场景。
在半导体行业，该系列角阀用于刻蚀、薄膜沉积设备腔体隔离，实现工艺腔、粗抽管路之间可靠通断，保障腔室真空度稳定，降低交叉污染风险。真空镀膜行业，应用于光学镀膜、装饰镀膜、PVD 设备，完成靶室、泵组之间管路切换，保障镀膜工艺一致性。科研与分析仪器领域，配套各类真空实验腔体、电子显微镜、表面分析设备，满足实验室高真空环境控制。新材料、锂电、冶金行业，用于烧结、脱气、蒸发设备，完成真空管路启闭，适配粉体、材料热处理工艺工况。
面对制造产业升级，真空系统对密封性、可靠性、可维护性要求持续提升，ULVAC 爱发科真空角阀凭借丰富选型，可匹配不同真空等级、管路规格、控制逻辑，帮助企业提升设备运行稳定性，减少真空泄漏故障，助力各行业真空工艺提质增效，目前全系列机型均可提供选型配套与技术支持服务。