全新原厂MIYUKI美幸辉L型气动真空阀AB-N25

MIYUKI（美幸辉）AB-N25 是一款气动驱动的 L型真空阀，属于 AB 系列。它的核心优势是采用金属波纹管密封，能实现高真空环境下的低泄漏率。

核心特点

• 高密封性轴封：采用SUS316L焊接波纹管作为轴封，属于金属静密封，消除了阀杆往复运动带来的动态泄漏风险，泄漏率可低至 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。

• L型结构：阀体呈L型，流体进出口方向成90度，适用于需要改变管路方向的真空系统。

• 灵活的驱动方式：支持单作用（弹簧复位）和双作用（气开气关）两种模式。

• 兼容反压：所有尺寸均与反压（反向压力）兼容。

• 多种法兰标准：适配 KF (NW)、JIS、CF 等多种法兰标准。

• 耐高温烘烤：阀体支持 200℃ 整体高温烘烤除气，适用于对清洁度要求高的高真空工艺。

 技术规格

应用领域

• 半导体制造：如刻蚀、沉积等核心工艺。

• 真空镀膜：如光学镀膜、PVD等镀膜设备。

• 科研实验：各类超高真空实验装置。