池田屋精品MIYUKI美幸辉紧凑型气动直通真空阀SE-N25介绍
MIYUKI美幸辉 紧凑型气动直通真空阀SE-N25介绍
SE-N25 属于 SE 系列直通式气动真空阀，采用 NW25（KF25）ISO-KF 快拆法兰，单作用弹簧常闭驱动结构，通气开启、断气自动闭合。整机采用一体化圆柱结构，气缸内置无侧向凸起部件，轴向尺寸紧凑，直通式流道气流阻力较小，适配设备腔体内部狭小空间的真空支路通断控制。阀门可选配磁性感应开关，输出阀位信号对接自动化控制系统；阀体在洁净环境完成装配调试，密封表现稳定，适配常压至 1×10⁻⁵Pa 中高真空工况，广泛适配多个制造行业中小型真空管路隔断工况。
半导体行业多用于晶圆检测平台、小型等离子清洗设备，作为真空计采样支管、工艺腔体旁路、分子泵前级隔离阀。当气源中断时，阀门依靠弹簧自动闭合，阻挡大气倒灌进入真空腔体，降低真空规、样品被氧化污染的风险。紧凑的机身便于集成在设备腔体侧边，适合自动化小型真空设备密集布管场景。对比小口径 SE-N16，SE-N25 通流能力更强，适配中等流量真空抽气支路。
光学镀膜行业适配小型蒸发镀膜、UV 真空固化设备，用于样品预处理腔体、蒸发源辅助管路通断。设备检修阶段可隔离局部管路，缩短腔体重复抽真空时长；KF 快拆法兰结构拆装便捷，便于现场维护作业。
锂电与真空检测行业，大量配套氦质谱检漏工装、小型真空烘烤、真空脱泡设备支管控制，稳定的密封性能维持真空系统基础真空水平。科研与高校实验室常选用该型号搭建管式炉、真空材料测试平台，用作样品充气支路、真空监测管路控制阀门，第三方真空工艺研发平台也将其用于搭建小型实验管路。
阀座采用均衡压紧密封结构，标配 FKM 氟橡胶密封圈，可根据工艺气体工况调整密封材质；阀门启闭循环次数充足，长期重复运行工况下密封状态保持稳定。安装角度不受限制，支持水平、竖直多种方式布设。
相较于角式真空阀，直通布局不占用横向空间，多台阀门可以紧密并排布置，节省设备内部空间。同系列拥有多种口径规格，可按照管路尺寸灵活选型。作为进口紧凑型真空切断元件，SE-N25 结构精简、安装灵活，是镀膜设备、真空检测仪器、实验室真空系统中小型支路通断常用真空阀门方案。