池田屋推出ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵LS120A
池田屋推出ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵LS120A
池田屋推出ULVAC爱发科 螺杆干式真空泵LS120A
ULVAC爱发科依托LS洁净节能、MS防腐排粉两大干式螺杆真空泵产品线，搭配真空计、残余气体分析仪等配套设备，覆盖精密制造、新能源、光学、医药、化工、实验室等多个主流真空行业。设备采用无油干式结构，从根源杜绝油蒸气污染，可满足无尘车间标准，支持工厂24小时连续量产运行，运行稳定、运维成本低，适配绝大多数真空工艺场景。
半导体与显示面板行业，LS-C洁净型干泵多用于溅射、蒸镀、晶圆锁仓、分子泵前级抽气，低功耗、高洁净，不会污染基板；MS防腐系列适配刻蚀、等离子清洗、去胶等复杂工艺，内腔防腐涂层可耐受卤素腐蚀气体，大间隙螺杆可顺畅排出制程粉尘，有效缩短腔体抽气节拍，稳定提升芯片、Mini/Micro LED面板生产良率。
新能源锂电行业是MS系列主力应用场景，MS120A、MS600A、MS1200A广泛用于极片涂布真空烘干、电芯脱气、粉体烧结工序，可快速抽除NMP溶剂蒸汽与锂盐粉尘，搭配可调氮气吹扫，避免物料堆积卡泵，水冷结构适配长时间连续烘干产线，有效改善极片鼓包、涂层不均等工艺问题。
光学镀膜与精密仪器行业，LS系列凭借低噪、洁净、无油优势，避免膜层出现针孔、色斑，适配光学玻璃AR膜、功能膜真空蒸镀；搭配CGM残余气体分析仪可实时监测腔体杂质、排查漏气，保障光学检测与镀膜工艺精度。
生物制药与精细化工行业，LS-L轻工艺机型可处理微量水汽与低浓度溶剂，满足药品冻干、原料真空干燥的GMP洁净要求；MS系列适配真空蒸馏、纳米粉体合成，耐弱腐蚀、不易堵塞，大幅降低停机清理频次。同时广泛应用于高校实验室、环保检测、通用自动化行业，适配各类真空实验、检漏、吸附搬运设备。