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池田屋推出ULVAC爱发科真空型隔膜泵DAU-20型




池田屋推出ULVAC爱发科真空型隔膜泵DAU-20型

DAU-20 是日本 ULVAC 爱发科三级排气高真空干式隔膜泵,无油洁净真空设计,无油雾返流污染;适配分子泵前级、实验室分析、半导体小型真空腔体、真空干燥等洁净工况,低振动、内置过热保护,维护简单。

特点


  • 气体接触区域不使用油的干式真空泵。
  • 极限压力性能增强的高真空型干式真空泵
  • ターボ分子ポンプの辅助泵に使用可能。
  • 内置自动复位型热保护器等设计。
  • 大气压下可运作。
  • 结构简单,维护方便。

规格

Unit 50Hz 60Hz
有效排气速度
L/min 20 23
极限压力※1
Pa (kPa) 200 (-101.1)
使用电动机
单相, 100V, 80W, 4P, 电容器运作
全负荷电流
A 1.46
重量
kg 7.5
吸/排出孔(内螺纹尺寸)
mm O.D.φ10×I.D.φ6 (Rc 1/8)
使用环境温度范围
5~40
*大尺寸
mm 161(W)×327(L)×21

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