高亮度卤素光源系统是一种宏观观察照明装置，用于检测*终成品表面的异物、划痕、抛光不均匀、雾霾、滑移等

各种缺陷，是半导体晶圆和液晶衬底加工过程中费力的。

1.样品表面可照射至400,000Lx以上。

2.采用卤素灯作为光源，所以色温高，照度不均匀，

导致照明非常稳定和锐利。

3.由于采用冷镜，热量的影响极

小，是常规铝镜的1/3。

4.两段式切换机制，让您一键切换

高照度观察和弱光观察。

YP-150I・・・照度范围φ30 YP-250I・・・照度范围φ60

YP-250可选择螺旋桨风扇型和管道风扇型。 ）

1、可照亮样品表面400,000Lx以上。

2、光源采用卤素灯，色温高，照度不均小，光线极其稳定锐利。

3、采用冷镜，热量的影响极大地降低到传统铝镜的1/3。

4、两级切换机构，一键实现高照度观察和低照度观察。

YP-150I 照度范围：30mmφ

YP-250I 照度范围：60mmφ

超精密平面检测的理想选择！通过惊人的照明，可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I”是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

*终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板

另外，由于采用卤素灯作为光源，色温高，

光照不均匀的情况很少，光照***稳定锐利。

姊妹机“YP-250I”也可用于 8 英寸。

光源采用卤素灯

　　■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3

　　■ 高照度观察和低照度观察可一键切换

　　请用于超精密平面检测！